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高溫無塵無氧烘箱在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基於RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。